1.品名:韩国真空路设备 2.产地:韩国 3.工厂:韩国 4.可供范围: (1)金属热处理:真空热处理炉、真空钎焊炉、加压气淬炉、多室型真空炉 (2)陶瓷:高温烧结炉、Hot Press、高温 CVD (3)石墨:**高温炉、高纯化炉、CVI 5.技术设计: 真空腔体等结构件 - 计算条件 : 水冷壁压力0.2MPa, 内壁温度 100℃, 内部压力 (-)0.1 ~ 1MPa - 材料选定 : 低碳钢, 高强度钢, 锻造钢, STS304, STS310S, STS316L - 设计对象 : 筒体/炉门的内外壁厚度, 法兰厚度, 耐压环的开槽规格 加热室 - 温度条件 : 使用温度 ~ 2700℃, 隔热层外壁 200 ~ 700℃, 均匀度 ±3~12℃ - 材料选定 : Graphite, Molybdenum, Tungsten, STS310S - 设计对象 : 隔热体厚度, 加热器长度, Zone/加热回路分隔, 加热器/电极形式 真空排气设计 - 使用条件 : 低真空, 高真空, Oil Free Clean Vacuum - 形式选定 : Dry/Oil/Water Pumps, Diffusion/Cryo/Turbo Molecular Pumps - 设计对象 : 真空排气时间, 保护泵过滤器/捕捉器, 高真空 Cryo Trap 强制冷却计算 - 冷却目的 : 缩短工艺时间, 硬度强化急冷 - 形式构成 : 热交换器, 送风 Blower, Planum/Nozzle, 加热室开闭 Shutter - 设计对象 : 冷却所需时间, Planum 形式, 热交换器形式, 送风机容量